发明名称 PROJECTING AND EXPOSING DEVICE
摘要
申请公布号 JPS629632(A) 申请公布日期 1987.01.17
申请号 JP19850149013 申请日期 1985.07.06
申请人 AGENCY OF IND SCIENCE & TECHNOL 发明人 OOTORI KOICHIRO;YANO HIROSHI
分类号 H01L21/027;G03F7/20 主分类号 H01L21/027
代理机构 代理人
主权项
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