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发明名称
PROJECTING AND EXPOSING DEVICE
摘要
申请公布号
JPS629632(A)
申请公布日期
1987.01.17
申请号
JP19850149013
申请日期
1985.07.06
申请人
AGENCY OF IND SCIENCE & TECHNOL
发明人
OOTORI KOICHIRO;YANO HIROSHI
分类号
H01L21/027;G03F7/20
主分类号
H01L21/027
代理机构
代理人
主权项
地址
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