发明名称 INSPECTING INSTRUMENT FOR SEMICONDUCTOR INTEGRATED CIRCUIT
摘要
申请公布号 JPS629276(A) 申请公布日期 1987.01.17
申请号 JP19850149686 申请日期 1985.07.08
申请人 YOKOGAWA ELECTRIC CORP 发明人 ISHIBACHI MUNEO;UOZUMI TOMOHIKO
分类号 G01R31/02 主分类号 G01R31/02
代理机构 代理人
主权项
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