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经营范围
发明名称
INSPECTING INSTRUMENT FOR SEMICONDUCTOR INTEGRATED CIRCUIT
摘要
申请公布号
JPS629276(A)
申请公布日期
1987.01.17
申请号
JP19850149686
申请日期
1985.07.08
申请人
YOKOGAWA ELECTRIC CORP
发明人
ISHIBACHI MUNEO;UOZUMI TOMOHIKO
分类号
G01R31/02
主分类号
G01R31/02
代理机构
代理人
主权项
地址
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