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发明名称 IMPROVED SPUTTERING
摘要
申请公布号 JPS628408(A) 申请公布日期 1987.01.16
申请号 JP19850145856 申请日期 1985.07.04
申请人 ASAHI GLASS CO LTD 发明人 SUZUKI KOICHI;TADA MASASHI;TAKAGI SATORU
分类号 C23C14/08;C23C14/40;H01B13/00 主分类号 C23C14/08
代理机构 代理人
主权项
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