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发明名称
摘要
申请公布号 JPS62500110(A) 申请公布日期 1987.01.16
申请号 JP19850502952 申请日期 1985.04.24
申请人 发明人
分类号 H01L21/285;C23C14/24 主分类号 H01L21/285
代理机构 代理人
主权项
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