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发明名称 VORRICHTUNG ZUM BEHANDELN DER INNENWAND EINES ROHRES.
摘要
申请公布号 CH659346(A5) 申请公布日期 1987.01.15
申请号 CH19830002544 申请日期 1983.05.10
申请人 BALZERS AKTIENGESELLSCHAFT 发明人 MOLL, EBERHARD, DR.;BUHL, RAINER, DR.
分类号 C23F4/00;C23C14/04;C23C14/32;C23C14/34;H01J37/34;H05B7/16;(IPC1-7):H01J37/34;C23C14/00 主分类号 C23F4/00
代理机构 代理人
主权项
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