发明名称 METHOD OF DETERMINING DOPE CONCENTRATION AND DEPTH OF DEPOSITION OF P-N JUNCTION OF BUILT-IN CHANNEL IN INSULATED-GATE FIELD-EFFECT TRANSISTORS
摘要
申请公布号 SU1283874(A1) 申请公布日期 1987.01.15
申请号 SU19853889863 申请日期 1985.04.24
申请人 PRIGOZHIN GRIGORIJ YA,SU;SKURATOV YURIJ V,SU 发明人 PRIGOZHIN GRIGORIJ YA,SU;SKURATOV YURIJ V,SU
分类号 H01L21/66;G01R31/26 主分类号 H01L21/66
代理机构 代理人
主权项
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