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发明名称
METHOD OF DETERMINING DOPE CONCENTRATION AND DEPTH OF DEPOSITION OF P-N JUNCTION OF BUILT-IN CHANNEL IN INSULATED-GATE FIELD-EFFECT TRANSISTORS
摘要
申请公布号
SU1283874(A1)
申请公布日期
1987.01.15
申请号
SU19853889863
申请日期
1985.04.24
申请人
PRIGOZHIN GRIGORIJ YA,SU;SKURATOV YURIJ V,SU
发明人
PRIGOZHIN GRIGORIJ YA,SU;SKURATOV YURIJ V,SU
分类号
H01L21/66;G01R31/26
主分类号
H01L21/66
代理机构
代理人
主权项
地址
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