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发明名称 MEMBER HAVING BORON NITRIDE FILM CONTAINING FLUORINE ATOM ON SURFACE BY TREATMENT AND TREATMENT OF SURFACE
摘要
申请公布号 JPS627863(A) 申请公布日期 1987.01.14
申请号 JP19850144633 申请日期 1985.07.03
申请人 TOSHIBA CORP 发明人 YAMAZAKI MUTSUKI
分类号 C23C16/34 主分类号 C23C16/34
代理机构 代理人
主权项
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