| 发明名称 |
SENSING RELATIVE POSITION OF ALIGNMENT MARKS |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
GB2139753(B) |
申请公布日期 |
1987.01.14 |
| 申请号 |
GB19840007502 |
申请日期 |
1984.03.22 |
| 申请人 |
* CANON KABUSHIKI KAISHA |
发明人 |
HIDEKI * INA;HIROSHI * SHINKAI |
| 分类号 |
G03F9/00;G05D3/12;H01L21/027;H01L21/30;(IPC1-7):G01B11/27;G02B27/17 |
主分类号 |
G03F9/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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