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发明名称 JUNCTION STATE DETECTOR
摘要
申请公布号 JPS627198(A) 申请公布日期 1987.01.14
申请号 JP19850144668 申请日期 1985.07.03
申请人 HITACHI LTD 发明人 NINOMIYA TAKANORI;HIROI TAKASHI;YOSHIMURA KAZUSHI;NAKAGAWA YASUO
分类号 G01N21/88;G01M11/00;G01N21/956;G02B27/02;H01L21/60;H01L21/66;H05K3/34;H05K13/08 主分类号 G01N21/88
代理机构 代理人
主权项
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