PRODUCTION OF SEMICONDUCTOR RECRYSTALLIZED FILM BY LAMP ANNEALING,申请号JP19850145056-传众专利搜索

发明名称	PRODUCTION OF SEMICONDUCTOR RECRYSTALLIZED FILM BY LAMP ANNEALING
摘要
申请公布号	JPS627691(A)	申请公布日期	1987.01.14
申请号	JP19850145056	申请日期	1985.07.01
申请人	NEC CORP	发明人	SUMIYOSHI KEN
分类号	C30B1/02;H01L21/20;H01L21/324	主分类号	C30B1/02
代理机构		代理人
主权项
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