| 发明名称 |
EXPOSURE AND EXPOSURE SYSTEM WITH PROJECTION EXPOSURE DEVICE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPS627129(A) |
申请公布日期 |
1987.01.14 |
| 申请号 |
JP19850146340 |
申请日期 |
1985.07.03 |
| 申请人 |
NIPPON KOGAKU KK <NIKON> |
发明人 |
SUZUKI KAZUAKI;MATSUURA TOSHIO;SUWA KYOICHI;MATSUMOTO KOICHI |
| 分类号 |
H01L21/30;G03F7/20;H01L21/027 |
主分类号 |
H01L21/30 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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