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发明名称 FORMATION OF THIN FILM
摘要
申请公布号 JPS627866(A) 申请公布日期 1987.01.14
申请号 JP19850144900 申请日期 1985.07.02
申请人 SEMICONDUCTOR ENERGY LAB CO LTD 发明人 YAMAZAKI SHUNPEI;URATA KAZUO;TASHIRO MAMORU;MISEMURA YUUJI;IMATO SHINJI
分类号 C23C16/48;G03F7/20 主分类号 C23C16/48
代理机构 代理人
主权项
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