发明名称 METHOD OF GLOW DISCHARGE ACTIVATING REACTIVE PRECIPITATION OF CONDUCTIVE MATERIAL FROM GASEOUS PHASE
摘要
申请公布号 JPS627871(A) 申请公布日期 1987.01.14
申请号 JP19860101206 申请日期 1986.05.02
申请人 PHILIPS GLOEILAMPENFAB:NV 发明人 GEORUGU GERUTONERU;PEETERU YANIERU;HANSU YURUGEN RIDOCHIN
分类号 C23C16/50;C23C16/04;C23C16/08;C23C16/509 主分类号 C23C16/50
代理机构 代理人
主权项
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