发明名称 |
METHOD OF GLOW DISCHARGE ACTIVATING REACTIVE PRECIPITATION OF CONDUCTIVE MATERIAL FROM GASEOUS PHASE |
摘要 |
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申请公布号 |
JPS627871(A) |
申请公布日期 |
1987.01.14 |
申请号 |
JP19860101206 |
申请日期 |
1986.05.02 |
申请人 |
PHILIPS GLOEILAMPENFAB:NV |
发明人 |
GEORUGU GERUTONERU;PEETERU YANIERU;HANSU YURUGEN RIDOCHIN |
分类号 |
C23C16/50;C23C16/04;C23C16/08;C23C16/509 |
主分类号 |
C23C16/50 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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