| 发明名称 |
MAGNETRON SPUTTERING DEVICE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPS627856(A) |
申请公布日期 |
1987.01.14 |
| 申请号 |
JP19850147920 |
申请日期 |
1985.07.04 |
| 申请人 |
FUJITSU LTD |
发明人 |
WAKAMATSU HIROAKI;SHINOHARA MASAKI;KIUCHI KATSUMI;NAKAGAWA KATSUHIKO;SAKAI YUSAKU |
| 分类号 |
H01F1/18;C23C14/35;C23C14/36;G11B5/85;G11B5/851;H01L21/203;H01L21/285;H01L21/31 |
主分类号 |
H01F1/18 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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