| 摘要 |
Eine Verpackung für Fotoresistmaterial (2), beispielsweise einen Trockenresist, besteht aus einem Folienschlauch (1), dessen Enden nach dem Einbringen einer Fotoresistrolle zugeschweißt oder verklebt werden. Als Material für den Folienschlauch wird ein Verbund aus einer Polyester-Folie als Trägerfolie, auf der eine Aluminiumfolie aufkaschiert oder Aluminium aufgedampft ist, und einer auf-kaschierten Polyethylen-Folie verwendet. Desweiteren wird als Verpackung ein Weißblechkanister verwendet, der nach dem Einbringen des Fotoresistmaterials zugelötet wird. Bei jeder der beiden Verpackungen ist die Wasserdampfdurchlässigkeit kleiner als 0,01 g Wasserdampf pro Quadratmeter und Tag, bei einem Feuchtegefälle von 97 % und einer Umgebungstemperatur von 23 °C. |
