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发明名称 THIN FILM MATERIAL
摘要
申请公布号 JPS627171(A) 申请公布日期 1987.01.14
申请号 JP19850144739 申请日期 1985.07.03
申请人 HITACHI LTD 发明人 SHIMADA JUICHI;ITO HARUO;MATSUBARA SUNAO;MURAMATSU SHINICHI;NAKAMURA NOBUO;KOKUUCHI SHIGERU
分类号 H01L31/0248;H01L31/08 主分类号 H01L31/0248
代理机构 代理人
主权项
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