| 主权项 |
1.一种制备具有至少一个光学传导区之化学机械 抛光垫之方法,其包括: (i)提供一包含一孔之本体之抛光垫, (ii)将一光学传导窗嵌入该抛光垫本体之孔中,及 (iii)藉由超音波焊接将该光学传导窗结合至该抛 光垫之本体以形成一具有该光学传导窗之抛光垫 。 2.如请求项1之方法,其中该抛光垫之本体及该光学 传导窗各包含一聚合物树脂。 3.如请求项2之方法,其中该聚合物树脂系选自由以 下各物组成之群:热塑性弹性体、热固性聚合物、 聚胺基甲酸酯、聚烯烃、聚碳酸酯、聚乙烯醇、 耐纶、弹性体橡胶、弹性体聚乙烯、聚四氟乙烯 、聚对苯二甲酸乙二酯、聚醯亚胺、聚芳醯胺、 聚伸芳基、其共聚物及其混合物。 4.如请求项3之方法,其中该光学传导窗包含热塑性 聚胺基甲酸酯。 5.如请求项2之方法,其中该抛光垫之本体系一烧结 抛光垫、一实心抛光垫或一多孔发泡抛光垫。 6.如请求项2之方法,其中该抛光垫之本体及该光学 传导窗各自包含一不同之聚合物树脂。 7.如请求项6之方法,其中该抛光垫之本体包含一热 固性聚合物树脂而该光学传导窗包含一热塑性聚 合物树脂。 8.如请求项7之方法,其中该抛光垫之本体包含一热 固性聚胺基甲酸酯树脂而该光学传导窗包含一热 塑性聚胺基甲酸酯树脂。 9.如请求项8之方法,其中该抛光垫之本体系多孔而 该光学传导窗系实心。 10.如请求项6之方法,其中该抛光垫之本体包含一 热塑性聚合物树脂而该光学传导窗包含一热固性 聚合物树脂。 11.如请求项1之方法,其中该抛光垫之本体系一包 含上层垫及底层垫之多层本体。 12.如请求项11之方法,其中该光学传导窗系焊接至 该抛光垫多层本体之上层垫。 13.如请求项1之方法,其中该光学传导窗之形状为 椭圆形或圆形。 14.如请求项1之方法,其中该结合步骤包括采用一 为1秒或更短之焊接时间。 15.如请求项1之方法,其中该结合步骤包括采用一 为0.2 MPa至0.45 MPa之引动压力。 16.如请求项1之方法,其中该光学传导窗包含一凸 缘部分及一非凸缘部分。 17.如请求项16之方法,其中该光学传导窗进一步包 含一导能器。 18.一种藉由如请求项1之方法制备之具有至少一个 光学传导区之化学机械抛光垫。 19.一种藉由如请求项9之方法制备之具有至少一个 光学传导区之化学机械抛光垫。 图式简单说明: 图1A绘示一适用于本发明之超音波焊接方法之椭 圆形光学传导窗之俯视图。 图1B绘示一椭圆形光学传导窗之侧视图。 图2A绘示一适用于本发明之超音波焊接方法之矩 形光学传导窗之俯视图。 图2B绘示一矩形光学传导窗之侧视图。 图3A绘示一适用于本发明之超音波焊接方法之椭 圆形光学传导窗之俯视图。 图3B绘示一椭圆形光学传导窗之侧视图。 图3C绘示图3A之椭圆形光学传导窗沿线3C-3C之剖面 图。 图3D绘示椭圆形光学传导窗之凸缘部分(图3C之区 域3D所示)之放大视图,其突出显示该窗之凸缘上存 在导能器。 |
