电光装置、其制造方法以及电子设备

摘要

本发明提供具备耐压性能优良、可良好地发挥作用的保持电容的电光装置。是在基板上边由数据线、扫描线、薄膜晶体管和像素电极构成的电光装置，具备由电连接到薄膜晶体管和像素电极上的第1电极、与该第1电极对置配置的第2电极、以及配置在它们之间的电介质膜构成的保持电容，且具有上述第1电极和上述第2电极中的至少一方的表面的全部或一部分被氧化的氧化膜。

主权项

1.一种电光装置，其特征在于，具备：在基板上延伸设置的数据线；在与上述数据线交叉的方向上延伸的扫描线；由上述扫描线供给扫描信号的包含半导体层的薄膜晶体管；由上述数据线通过上述薄膜晶体管供给图像信号的像素电极；由与上述薄膜晶体管和上述像素电极电连接的第1电极、与该第1电极相对配置的第2电极以及配置在上述第1电极与上述第2电极间的电介质膜构成的保持电容；以及上述第1电极和上述第2电极的至少一方的表面的一部分被氧化的氧化膜；其中，上述第1电极被配置为至少覆盖构成上述薄膜晶体管的半导体层的沟道区。