| 发明名称 | 微型可移动设备 | ||
| 摘要 | 本发明提供形成在基底上并适于沿平行于所述基底薄片表面的方向移动的可移动部件(11)；形成在所述基底上并固定设置在其上的固定部件(10a)；以及平行于基底薄片表面延伸的弹性铰链(6A)至(6D)，其相反两端与可移动部件(11)和固定部件(10a)连接，用于以可移动方式支撑可移动部件(11)。沿垂直于铰链(6A)至(6D)纵向平面的横截面来看，铰链具有随着接近基底顶面而变小的宽度，进而具有梯形或三角形横截面。在要求提供相等弹簧常数的所述铰链顶面上测量的宽度被选定为比具有矩形横截面(等宽)的铰链宽度大，并且这样易于在制造过程中进行光刻。 | ||
| 申请公布号 | CN100343712C | 申请公布日期 | 2007.10.17 |
| 申请号 | CN200410100529.7 | 申请日期 | 2004.10.10 |
| 申请人 | 日本航空电子工业株式会社 | 发明人 | 加藤嘉睦;森惠一;吉田惠;近藤健治;滨田义彦;伊卷理 |
| 分类号 | G02B6/35(2006.01);G02B26/02(2006.01);G03F7/20(2006.01);H01L21/00(2006.01) | 主分类号 | G02B6/35(2006.01) |
| 代理机构 | 北京市柳沈律师事务所 | 代理人 | 王景刚;李瑞海 |
| 主权项 | 1.一种微型设备，包括基底(42)和形成在基底(42)表面上并适于在平行于所述表面的方向上相对于基底(42)移动的可移动部件(11)，形成在基底(42)上并固定在其上的固定部件(10a)，以及平行于基底(42)的所述表面延伸的弹性伸长铰链(6A-6D)，其相对端之一连接至可移动部件(11)，另一端连接至固定部件(10a)，从而以可移动方式支撑可移动部件(11)；其中铰链(6A-6D)在垂直于铰链(6A-6D)纵向的平面中的横截面区域中，背对基底(42)的第一侧(6s)处的宽度(W1)大于朝向基底的相对第二侧处的宽度，其特征在于，角θ1为0.6°＜θ1≤5.25°，该角θ1形成在连接所述横截面区域的所述第一侧和第二侧的铰链的相对侧面的每个与基底(42)的所述表面上的垂线之间。 | ||
| 地址 | 日本东京都 | ||