| 发明名称 |
ENHANCEMENT OF CLOSE ADHESIVENESS OF METAL IN SEMICONDUCTOR DEVICE MANUFACTURE PROCESS |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPS627132(A) |
申请公布日期 |
1987.01.14 |
| 申请号 |
JP19850147510 |
申请日期 |
1985.07.03 |
| 申请人 |
SHARP CORP |
发明人 |
KONDO MASAHARU;MURATANI TOSHIAKI |
| 分类号 |
H01L21/3213;H01L21/302;H01L21/3065 |
主分类号 |
H01L21/3213 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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