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发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR SINGLE CRYSTAL LAYER
摘要
申请公布号 JPS627111(A) 申请公布日期 1987.01.14
申请号 JP19850144564 申请日期 1985.07.03
申请人 AGENCY OF IND SCIENCE & TECHNOL 发明人 TAKAHASHI MINORU
分类号 H01L21/20;H01L21/263 主分类号 H01L21/20
代理机构 代理人
主权项
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