发明名称 FREMGANGSMAATE TIL FREMSTILLING AV TERMISK STABILE, NEGATIVE BILDER OG NEGATIVE FOTORESISTMATERIALER TIL UTFOERELSE AV FREMGANGSMAATEN.
摘要
申请公布号 NO870119(D0) 申请公布日期 1987.01.13
申请号 NO19870000119 申请日期 1987.01.13
申请人 ROHM AND HAAS CO 发明人 FEELY, WAYNE EDMUND
分类号 G03F7/004;G03F7/029;G03F7/038;G03F7/38;G03F7/40;H01L21/027;(IPC1-7):G03F/ 主分类号 G03F7/004
代理机构 代理人
主权项
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