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发明名称
LOW TEMPERATURE PLASMA NITRIDING AND APPLICATION OF NITRIDE FILM FORMED THEREIN
摘要
申请公布号
JPS625641(A)
申请公布日期
1987.01.12
申请号
JP19860080277
申请日期
1986.04.09
申请人
FAIRCHILD SEMICONDUCTOR CORP
发明人
TOOMASU KIISAA;BURUUSU AARU KAANZU;KURANCHI BUI ANANDO;UIRIAMU JII PETORO;MAIKERU ERU BARII
分类号
H01L21/318
主分类号
H01L21/318
代理机构
代理人
主权项
地址
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