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发明名称
LIFT-OFF METHOD
摘要
申请公布号
JPS625639(A)
申请公布日期
1987.01.12
申请号
JP19850145365
申请日期
1985.07.02
申请人
SANYO ELECTRIC CO LTD
发明人
SHONO MASAYUKI
分类号
H01L21/306
主分类号
H01L21/306
代理机构
代理人
主权项
地址
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