| 发明名称 |
SEMICONDUCTOR DEVICE INSPECTION METHOD AND APPARATUS |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPS624335(A) |
申请公布日期 |
1987.01.10 |
| 申请号 |
JP19860108762 |
申请日期 |
1986.05.14 |
| 申请人 |
INTERNATL BUSINESS MACH CORP <IBM> |
发明人 |
ORIBAA KUREIGU UERUSU |
| 分类号 |
G01N27/00;G01N13/12;G01R31/26;G01R31/265;G01R31/305;H01J37/26;H01J37/28;H01L21/66 |
主分类号 |
G01N27/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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