| 发明名称 |
SUSCEPTOR FOR VAPOR GROWTH APPARATUS |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
JPS624315(A) |
申请公布日期 |
1987.01.10 |
| 申请号 |
JP19850143762 |
申请日期 |
1985.06.29 |
| 申请人 |
TOSHIBA CORP |
发明人 |
SHIRAI HIDEKI;MATSUSHITA YOSHIAKI;MIKATA YUICHI;SAMATA SHUICHI |
| 分类号 |
H01L29/78;H01L21/205;H01L21/31 |
主分类号 |
H01L29/78 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
