发明名称 电绝缘层
摘要 由非单晶物质构成的电绝缘薄层,用等离子CVD(化学汽相淀积)法或溅射法淀积在基片上,含碳量按原子算不低于10%。电绝缘层比较薄而且有优越的耐热性和高的介质击穿电压。
申请公布号 CN85101843A 申请公布日期 1987.01.10
申请号 CN85101843 申请日期 1985.04.01
申请人 钟渊化学工业株式会社 发明人 西村国夫;中山威久;津下和永;太和田目久
分类号 H01B3/00 主分类号 H01B3/00
代理机构 中国专利代理有限公司 代理人 李先春
主权项 1、由非单晶物质组成的电绝缘薄层采用等离子体CVD法或溅射法淀积在基片上,其含碳量按原子算不少于10%。
地址 日本大阪市