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发明名称 BIAS SPUTTERING DEVICE
摘要
申请公布号 JPS624864(A) 申请公布日期 1987.01.10
申请号 JP19850142930 申请日期 1985.06.28
申请人 MATSUSHITA ELECTRIC IND CO LTD 发明人 IKEDA TANEJIRO
分类号 C23C14/40;H01L21/203;H01L21/285;H01L21/31 主分类号 C23C14/40
代理机构 代理人
主权项
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