图样检测装置

摘要

本发明描述了检查印刷线路板图样检测装置。在装置中同时用了两种图象：一种是从印刷线路板衬底发出的萤光形成的荧光图象；另一种是从印刷线路板布线图样反射的光形成的图象。因为留在衬底不要求部分，具有低反射率的布线材料只能在荧光图象上检测而布线图样表层鳞剥的缺陷部分只能在反射光形成的图象上检测。最好用从布线图样反射的红外光形成用于检测上述缺陷部分的图象。因为，红外光对布线图样表面的浅斑不敏感。荧光图象和红外图象经过检测电路加工，然后彼此比较。根据加工后的图象之间的差别来检测图样的缺陷。

主权项

1、图样检测装置用来检测在能产生萤光的材料上有布线图样的物体。在该装置的描述中包括：光源：能同时发射用于产生萤光的激励光和可以与上述激励光分开的，用于产生从布线图样表面反射的光的光；第一镜：把来自上述光源的光导向被测物体；滤光器：透过从上述被测物体来的萤光和反射光，滤去从上述被测物体反射的激励光。光学系统：包括一个透镜和第二镜，把上述萤光和反射光分别聚焦在萤光探测器和反射光探测器上。检测电路：对上述探测器探测的图样图象具有缩小、放大、掩蔽和组合等功能。