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发明名称 APPARATUS FOR FORMING DEPOSITED FILM BY PHOTOCHEMICAL VAPOR PHASE GROWING METHOD
摘要
申请公布号 JPS624870(A) 申请公布日期 1987.01.10
申请号 JP19850140499 申请日期 1985.06.28
申请人 CANON INC 发明人 TSUDA HISANORI;TAKASU KATSUJI;SANO MASAFUMI;HIRAI YUTAKA
分类号 C23C16/48 主分类号 C23C16/48
代理机构 代理人
主权项
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