垫结构及其形成方法

摘要

本发明提供一种垫结构及其形成方法,上述垫结构包括一第一含金属层,形成于一基板上以及一第一保护层,形成于该第一含金属层上,该第一保护层具有一第一开口,其露出部分的该第一含金属层。上述垫结构更包括一垫层,形成于该第一保护层上,且覆盖该第一开口,该垫层包括一探测区域以及一接合区域,该探测区域用来接触一探针,而该接合区域用来接合一导线,其中该探测区域经由该第一开口与该第一含金属层接触,该接合区域位于部分的该第一保护层的上方。