| 摘要 |
图案描绘装置之计测部5具备有被安装在载物台3之侧面之平面镜51、雷射光源52、第1线性干涉系统551和第1接收器552、第2线性干涉系统561及第2接收器562,以及,以垂直于载物台3之平面镜旋转轴571为中心使平面镜51对载物台3相对旋转之平面镜旋转机构57。在图案描绘装置中,当基板之预对准时,在载物台3之旋转方向之相反方向使平面镜51旋转,用来使平面镜51之反射面对主扫描方向成为垂直。利用此种方式,在调整基板之旋转位置后,利用第1接收器552和第2接收器562可以更确实地接受来自平面镜51之雷射光之反射光。 |
