发明名称 IMPURITY THERMAL DIFFUSION INTO SEMICONDUCTOR SUBSTRATE
摘要
申请公布号 JPS622530(A) 申请公布日期 1987.01.08
申请号 JP19850140771 申请日期 1985.06.27
申请人 MITSUBISHI ELECTRIC CORP 发明人 YAGI TETSUYA
分类号 H01L21/22 主分类号 H01L21/22
代理机构 代理人
主权项
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