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经营范围
发明名称
IMPURITY THERMAL DIFFUSION INTO SEMICONDUCTOR SUBSTRATE
摘要
申请公布号
JPS622530(A)
申请公布日期
1987.01.08
申请号
JP19850140771
申请日期
1985.06.27
申请人
MITSUBISHI ELECTRIC CORP
发明人
YAGI TETSUYA
分类号
H01L21/22
主分类号
H01L21/22
代理机构
代理人
主权项
地址
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