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发明名称
摘要
申请公布号 JPS622237(U) 申请公布日期 1987.01.08
申请号 JP19850092826U 申请日期 1985.06.19
申请人 发明人
分类号 C30B23/08;C30B23/00;C30B25/10;H01L21/203;H01L21/26;(IPC1-7):H01L21/203 主分类号 C30B23/08
代理机构 代理人
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