发明名称 MEASURING PORTION OF IC HANDLER
摘要
申请公布号 JPS622172(A) 申请公布日期 1987.01.08
申请号 JP19850142065 申请日期 1985.06.28
申请人 KOKUSAI ELECTRIC CO LTD 发明人 YOKOMIZO ISAO;HARADA YASUHIRO
分类号 H01L21/66;B25J19/02;G01R31/00;G01R31/18;G01R31/26;H05K13/04 主分类号 H01L21/66
代理机构 代理人
主权项
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