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发明名称
HEAT TREATMENT FOR INGAAS ION IMPLANTED CONDUCTIVE LAYER
摘要
申请公布号
JPS622532(A)
申请公布日期
1987.01.08
申请号
JP19850140975
申请日期
1985.06.27
申请人
NEC CORP
发明人
OZAWA TOSHIHARU
分类号
H01L21/26;H01L21/265
主分类号
H01L21/26
代理机构
代理人
主权项
地址
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