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发明名称 ELECTRODE DEVICE FOR ION BEAM DEVICE
摘要
申请公布号 JPS622440(A) 申请公布日期 1987.01.08
申请号 JP19850138912 申请日期 1985.06.27
申请人 TOSHIBA CORP 发明人 KOMANO HARUKI;TAKIGAWA TADAHIRO
分类号 H01L21/265;H01J37/10 主分类号 H01L21/265
代理机构 代理人
主权项
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