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发明名称 OPTICAL SURFACE-ROUGHNESS METER
摘要
申请公布号 JPS622110(A) 申请公布日期 1987.01.08
申请号 JP19850141796 申请日期 1985.06.28
申请人 AGENCY OF IND SCIENCE & TECHNOL;TOKYO SEIMITSU CO LTD 发明人 MITSUI KIMIYUKI;SAKAI MAKOTO
分类号 G01B11/30;G01B11/24;G01B11/245 主分类号 G01B11/30
代理机构 代理人
主权项
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