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发明名称 INFRARED HEATING DEVICE
摘要
申请公布号 JPS622614(A) 申请公布日期 1987.01.08
申请号 JP19850142929 申请日期 1985.06.28
申请人 MATSUSHITA ELECTRIC IND CO LTD 发明人 SUZUKI NAOKI;NOZAKI JUNICHI;SUZUKI MASAKI
分类号 H01L21/205;H01L21/26;H01L21/263;H01L21/31 主分类号 H01L21/205
代理机构 代理人
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