| 发明名称 |
METHOD FOR FORMING DEPOSITED FILM |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPS621872(A) |
申请公布日期 |
1987.01.07 |
| 申请号 |
JP19850140396 |
申请日期 |
1985.06.28 |
| 申请人 |
CANON INC |
发明人 |
OGAWA KYOSUKE;KIMURA TOMOHIRO;MISUMI TERUO;KOIKE ATSUSHI;IIDA SHIGEHIRA |
| 分类号 |
C23C16/50;G03G5/08;H01L21/205;H01L31/0248;H01L31/08 |
主分类号 |
C23C16/50 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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