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发明名称 REACTIVE ION ETCHING
摘要
申请公布号 GB2145360(B) 申请公布日期 1987.01.07
申请号 GB19840018364 申请日期 1984.07.18
申请人 THE SECRETARY OF STATE FOR * DEFENCE 发明人 NIGEL GORDON * CHEW;ANTHONY GEORGE * CULLIS
分类号 H01L21/263;H01L21/423;H01L21/465;(IPC1-7):H01L21/00 主分类号 H01L21/263
代理机构 代理人
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