发明名称 ION IMPLANTATION CHAMBER PURIFICATION METHOD
摘要
申请公布号 GB8628878(D0) 申请公布日期 1987.01.07
申请号 GB19860028878 申请日期 1986.12.03
申请人 EATON CORPORATION 发明人
分类号 H01L21/265;H01J37/18;H01J37/30;H01J37/317 主分类号 H01L21/265
代理机构 代理人
主权项
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