| 发明名称 |
SILICON CARBIDE-BASED MOLDED MEMBER FOR USE IN SEMICONDUCTOR MANUFACTURE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
GB2130192(B) |
申请公布日期 |
1987.01.07 |
| 申请号 |
GB19830028426 |
申请日期 |
1983.10.25 |
| 申请人 |
* TOSHIBA CERAMICS CO LTD |
发明人 |
ISAO * SAKASHITA;TAKASHI * TANAKA;MASAYOSHI * YAMAGUCHI;TOSHIAKA * SUZUKI |
| 分类号 |
C04B35/565;C04B35/573;C30B25/08;C30B31/10;C30B35/00;(IPC1-7):C01B31/36 |
主分类号 |
C04B35/565 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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