发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPS621235(A) 申请公布日期 1987.01.07
申请号 JP19850139133 申请日期 1985.06.27
申请人 AGENCY OF IND SCIENCE & TECHNOL 发明人 YAMAMOTO KAZUHIKO
分类号 H01L21/31 主分类号 H01L21/31
代理机构 代理人
主权项
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