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发明名称 DEVICE FOR MONITORING THE THICKNESS OF THIN, HARDLY ABSORBING FILMS
摘要
申请公布号 EP0101049(B1) 申请公布日期 1987.01.07
申请号 EP19830107845 申请日期 1983.08.09
申请人 ALCATEL 发明人 CANTELOUP, JEAN
分类号 H01L21/302;G01B11/06;H01L21/3065;(IPC1-7):G01B11/06 主分类号 H01L21/302
代理机构 代理人
主权项
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