| 发明名称 |
MANUFACTURE OF HIGH QUALITY EPITAXIAL LAYER BY MOLECULAR BEAM EPITAXY |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPS621222(A) |
申请公布日期 |
1987.01.07 |
| 申请号 |
JP19860083216 |
申请日期 |
1986.04.10 |
| 申请人 |
MOTOROLA INC |
发明人 |
JIEI EE KAARESU;GEERII DEE KURAMAA;MARIRIN ESU PEFURIII;DANIERU ERU ROODO;REIMONDO KEE TSUI |
| 分类号 |
H01L21/203;C30B23/02;H01L21/26 |
主分类号 |
H01L21/203 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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