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发明名称 TEST EQUIPMENT FOR SEMICONDUCTOR INTEGRATED CIRCUIT
摘要
申请公布号 JPS62876(A) 申请公布日期 1987.01.06
申请号 JP19850140767 申请日期 1985.06.27
申请人 MITSUBISHI ELECTRIC CORP 发明人 INOUE YOSHINARI
分类号 G01R31/26;G01R31/02 主分类号 G01R31/26
代理机构 代理人
主权项
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