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发明名称 PRAEZISIONSZUFUEHRMECHANISMUS
摘要
申请公布号 DE3620969(A1) 申请公布日期 1987.01.02
申请号 DE19863620969 申请日期 1986.06.23
申请人 CANON K.K. 发明人 IWAMOTO,KAZUNORI
分类号 B23Q1/03;B23Q1/28;B23Q1/60;B25J9/10;B25J19/00;H01L21/677;(IPC1-7):G12B5/00;G03F9/00 主分类号 B23Q1/03
代理机构 代理人
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