| 发明名称 |
EVAPORATEUR POUR L'OBTENTION, PAR EVAPORATION SOUS VIDE, DE DEPOTS DE FILMS MINCES |
| 摘要 |
<P>L'INVENTION CONCERNE LES TECHNIQUES D'APPLICATION DE REVETEMENTS.</P><P>L'EVAPORATEUR FAISANT L'OBJET DE L'INVENTION EST DU TYPE COMPORTANT UN CREUSET 1 POUR LA MATIERE A EVAPORER 2, EQUIPE D'UN RECHAUFFEUR 3 ET COMMUNIQUANT AVEC UN MOYEN 7 DE FORMATION D'UN FLUX DIRIGE DE VAPEUR DE LADITE MATIERE, ET EST CARACTERISE EN CE QUE LEDIT MOYEN 7 DE FORMATION D'UN FLUX DIRIGE EST REALISE SOUS FORME D'UN TUYAU 4 AYANT UN PLAN DE SYMETRIE TRANSVERSAL 5 ET DONT UNE EXTREMITE EST PLACEE DANS LE CREUSET1.</P><P>L'EVAPORATEUR EN QUESTION PEUT ETRE UTILISE NOTAMMENT POUR L'APPLICATION DE FILMS DE MATIERES COUTEUSES TELLES QUE L'OR, L'ARGENT, LE PLATINE, LE PALLADIUM.</P>
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| 申请公布号 |
FR2584100(A1) |
申请公布日期 |
1987.01.02 |
| 申请号 |
FR19850009951 |
申请日期 |
1985.06.28 |
| 申请人 |
KIEVSKY POLITEKHNICHESKY INSTITU |
发明人 |
GEORGY TIMOFEEVICH LEVCHENKO ET ALEXANDR NIKOLAEVICH RADZIKOVSKY;RADZIKOVSKY ALEXANDR NIKOLAEVI |
| 分类号 |
H01L21/285;C23C14/24;(IPC1-7):C23C14/24 |
主分类号 |
H01L21/285 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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