发明名称 组件对准方法及装置
摘要 一种以转塔内,结合电子组件或装配设备使用之真空吸嘴来对准小尺寸组件的方法及装置。该方法包括以下步骤:以一吸嘴拾吸起该组件;相对于既定数值测量该组件之一位置;使该吸嘴所固持着之该组件与对准装置相接触;以该对准装置固持该组件;以及根据该位置量测值,移动该对准装置以对准该组件。
申请公布号 TW200935551 申请公布日期 2009.08.16
申请号 TW097150025 申请日期 2008.12.22
申请人 艾斯麦卡半导体控股有限公司 发明人 卓马德 巴斯葛;麦尔 谢巴斯汀
分类号 H01L21/68(2006.01) 主分类号 H01L21/68(2006.01)
代理机构 代理人 何金涂;王彦评
主权项
地址 瑞士